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AALBORG流量计

  • 产品型号:
  • 更新时间:2023-01-03

简要描述:美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上*的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

产品详情

AALBORG流量计

美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上*的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺 。

设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
-zui大压力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦气
-NIST系统标定可追踪的证明
-可倾斜的LCD读表
-0-5Vdc或4-20mA信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
-0到100%比例显示
-可配备流量计算机

精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。
重复性:±0.5%满量程
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒
温度系数:0.15%满量程/℃
压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar)
气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃)
输出信号:0-5Vdc,zui小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出:+12Vdc;zui大200Ω。+24Vdc可选
时间恒量:800ms

气体压力:zui大1000psig(70bar)。可选20psig(1.4bar)
流体接触面材质:A:GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置
连接:GFC17和37:1/4"卡套螺纹VCR®或1/8"卡套可选(GFC17)
GFC47:3/8"卡套螺纹
GFC57:3/8"卡套螺纹
GFC67:1/2"卡套螺纹
GFC77:3/4"卡套螺纹
VCR®或3/4"卡套可选(GFC77)

 

 

 

 

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