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| 电子光源 | 高亮度肖特基源的热场发射电子枪 |
| 分辨率 | 1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm（Through-lens detector） |
| 加速电压 | 0.1kV – 30kV连续调节,步长100V |
| 放大倍数 | <10倍 至 >900,000倍，工作距离和高压变化时进行*地补偿 |
| 电子束流 | zui高可达100nA |
| 光栏选择 | 6孔光栏，高精度点击选择 |
| 探测器 样品室内二次电子探头 Through -Lens探头 样品室内BSE探头 | E-T探头仅用于样品室高真空操作,几何位置可调整 DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探头 罗宾逊/4分割固体背散射电子探头 |
| 真空系统 | TMP（涡轮分子泵）+2个离子泵，高压和所有电子枪供给全部 与真空互锁 |
| 样品室尺寸 | 413mm宽x313mm深x313mm高. |
| 样品台移动 | 优中心6轴样品台. X=100mm，Y=100mm，（Y=150mm，选配），Z=50mm， Z’=10mm Tilt=-5～+90°， Rot=360° |
| 样品台载重 | 承载样品的重量超过5公斤 |
| 样品室接口 | 14个 |
| 防震系统 | 自动水平传感器的气垫装置 |
| 自动特性 | 自动聚焦,消像散,亮度和对比度调整. 自动电子束对中.自动 电子束流检测.真空检测与调整 |
| 显示器 | 双显示器，能形成双幅横向工作区 |
| 视频获取 图像处理 | 6路优化像素噪音功能实现双路获取 样品检查模式带有转换/扫描图像定位中心特性 全屏注释和图像测量功能 |
| 触停报警装置 | 标配 |
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| 可配附件 | |
| EDS, WDS, EBSD, CL， STEM，电子束消隐装置，激光定位仪，电子枪隔离阀， Fastrac， 光学显微镜，冷台，热台，拉伸台 | |
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北京东方安诺生化科技有限公司
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